248nm增透膜国际领先:准分子激光器应用扩展

本文摘要:248nm准分子激光器技术由于输入波长较短、能量低、具备较宽的脉长和很高的峰值功率,在工业、国防等方面,特别是在是高功率激光系统还包括248nm光刻技术、激光医疗、激光细致加工中具备很广的应用于前景,也是ICF领域一个最重要的技术选项。248nm薄膜元件是准分子激光系统中最重要的薄膜元器件,其光学损耗和外用激光受损性能对激光系统的效率起着根本性或决定性的起到。

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248nm准分子激光器技术由于输入波长较短、能量低、具备较宽的脉长和很高的峰值功率,在工业、国防等方面,特别是在是高功率激光系统还包括248nm光刻技术、激光医疗、激光细致加工中具备很广的应用于前景,也是ICF领域一个最重要的技术选项。248nm薄膜元件是准分子激光系统中最重要的薄膜元器件,其光学损耗和外用激光受损性能对激光系统的效率起着根本性或决定性的起到。  中国科学院上海光学精密机械研究所研究了LaF3、MgF2、Al2O3和SiO2薄膜的较低吸取、低损耗冷却沉积工艺,在此基础上设计并制取了两种248nm增透膜,增透膜的剩下反射率皆大于0.1%。天光准分子激光系统将该所制取的增透膜元件与国际最重要,也代表最低国际水平的德国研制元件展开了受损阈值对比测试,测试波长248nm,脉长24ns。

结果显示,对比德国5.5J/cm2的受损阈值,该所制取的LaF3/MgF2增透膜平均值在7.5J/cm2,最低超过11J/cm2;Al2O3/SiO2制取的增透膜的受损阈值平均值在6J/cm2。证明上海光机所研制的248nm增透膜受损阈值结果超过国际领先水平。图1.两种材料人组制取的248nm增透膜的光谱曲线图2.。


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